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理研TP-70DGⅡ固定式气体探测器通过采用含有催化剂的热分解器,实现减少干扰带来的影响。单触式的传感器更换方式,搭载新型智能化传感器。采用易于观察的大型字符LCD,搭载流量自动调整功能。
用于检测半导体工厂内的C4F6/C5F8/COS
用于对储气瓶存放柜及半导体制造装置进行检测
用于无尘室内的环境监测
产品类别:固定式
类型:智能型检测
检测对象气体:C4F6/C5F8/COS
检测原理:催化+定电位电解式
检测范围:0~5ppm (C4F6·C5F8)
0~15ppm (COS)
报设定值:1st: 2ppm/ 2nd:4ppm (C4F6·C5F8)
1st: 5ppm/2nd:10ppm (COS)
检测方式:泵吸式
报种类:气体报/故障报
报内容:1st: ALM1指示灯闪烁、或亮灯(红色)
2st: ALM2指示灯闪烁、或亮灯(红色)
电源:AC100~240V±10%
外形尺寸/重量:约180(W)*225(H)*285(D)mm(不包含突起部分)/约6.Okg
理研TP-70DGⅡ固定式气体探测器产品测评
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